淨化車間爲要控制溫濕度的主要目的是什麽

　　在紊流潔淨室中，風的輸送和混合都是紊流方式進行的。爲確(què)保污染物被清楚，無塵車(chē)間的各個部分必須均實現良好的空氣混合。在單向流淨化車(chē)間中，爲保證關鍵區域達到潔淨的水平，其送風直接來自過濾器。

　　淨化車間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，首先應該考慮人的舒适感。随著(zhe)空氣潔淨度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生産的光刻曝光工藝中，作爲掩膜闆材料的玻璃與矽片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的矽片，溫度上升1度，就引起瞭(le)0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因爲人出汗以後，對産品将有污染，特别是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高産生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生鏽。