如何控制淨化車間的壓差

　　淨化車間具體工藝對溫度的要求，由於加工精度越來越精細，所以對溫度波動範圍的要求越來越小；要求濕度值一般較低，因爲人出汗以後，對産品将有污染，特别是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

　　濕度過高産生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生鏽。此外，濕度太高時将通過空氣中的水分子把矽片表面粘著(zhe)的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低於(yú)30%時，又由於(yú)靜電力的作用使粒子也容易吸附於(yú)表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對於(yú)矽片生産*溫度範圍爲35—45%。

　　淨化車(chē)間壓差控制的基本原理是控制送風量、回風量和排風量。當送入淨化車(chē)間内的空氣量适當的大於(yú)回風和排風量時，室内則可維持一定的正壓值。此時，在室内外靜壓差的作用下，通過圍護結構不嚴密處向外滲漏的風量與機械進出風量的差額相等。

　　淨化車間壓差維持的難題在於(yú)機械送風量與出風量是動态變化的。對於(yú)潔淨空調系統來說，過濾器積塵會造成新風、送風管路阻力增加，從而影響風量，排風設備的時開時停也會導緻排風量的變化；此外，與樓道、室外相鄰還會因熱壓、風壓的變化影響房間的壓差。因此潔淨室的壓差值需要經常進行檢查，並(bìng)依次對新、送、回、排風通路的閥門作出相應的調整。