淨化工程要控制溫濕度有哪些措施？

　　淨化工程潔淨室的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，首先應該考慮人的舒适感。随著空氣潔淨度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生産的光刻曝光工藝中，作爲掩膜闆材料的玻璃與矽片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的矽片，溫度上升1度，就引起瞭0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因爲人出汗以後，對産品将有污染，特别是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

　　濕度過高産(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，淨化工程冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電(diàn)路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生鏽。淨化工程要控制溫濕度具體有什麽措施？

　　然而對於(yú)大部分潔淨空間，爲瞭(le)防止外界污染侵入，需要保持内部的壓力（靜壓）高於(yú)外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應符合以下原則：

　　1.潔淨度級(jí)别高的空間的壓力要高於(yú)相鄰的潔淨度級(jí)别低的空間的壓力。

　　2.相通潔淨室之間(jiān)的門要開向潔淨度級(jí)别高的房間(jiān)。

　　3.潔淨空間(jiān)的壓力要高於(yú)非潔淨空間(jiān)的壓力。

　　壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補(bǔ)償(cháng)在這一壓力差下從縫隙漏洩掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏洩（或滲透）風量通過潔淨室的各種縫隙時的阻力。

　　對於(yú)亂流潔淨室由於(yú)主要靠空氣的稀釋作用來減輕室内污染的程度，所以主要用換氣次數這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室内氣流速度也有如下要求；1.送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。2.吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大幹0.2m/s。