如何解決淨化車間的靜電問題？

　　靜電是淨化車間難控制的因素之一，靜電可以使半導體器件生産中的廢品增多、降低電子設備的可靠性。因此，在半導體器件的生産中，所有的制造階段都需要防止靜電對器件的作用。

　　消除靜電(diàn)的方法很多，對有防靜電(diàn)環境要求的淨化車(chē)間工程，常用以下幾種方法：

　　1、選用合适的材料：

　　淨化車間裝修要採(cǎi)用不易産(chǎn)生靜電或産(chǎn)生靜電後能較快洩漏的材料，多種材料共同使用時，應選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導體或電的絕緣體。導體是電流能通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料。

　　2、接地：

　　接地是帶(dài)電導(dǎo)體消除靜電zui爲普遍、經濟、簡便、可靠的方法。

　　(1)淨化車間内可能産生靜電危害的設備(bèi)、流動液體、氣體或粉體管道應採(cǎi)取防靜電接地措施。

　　(2)電子工業潔淨室的圍護結構(吊頂、地面、牆、柱)應採(cǎi)用防靜電裝飾，可以抑制塵(chén)埃的帶電吸附。

　　(3)工藝設備接地。

　　(4)辦公設備應採(cǎi)用能防靜電的材料制成並(bìng)接地。

　　(5)工作人員應穿戴防靜電的無塵(chén)衣、鞋、帽、手套、腕帶(dài)等。

　　3、.中和：

　　将帶電體(靜電)周圍的空氣離子化後，帶電的離子在電磁場作用下發生遷移，帶電體吸引異性電荷達到中和而消除靜電。靜電消除器是一種能産(chǎn)生電子和離子的裝置，它産(chǎn)生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和，從而消除靜電。絕緣材料表面所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦(bàn)法來消除。

　　4、濕度控制：

　　在衆多消除靜電的方法中，室内濕度控制也被認爲可以用來減少和消除淨化車間靜電。通過在環境中保持高的相對濕度，在該區域内物體的表面将形成薄薄的濕氣層(céng)，利用這一薄層(céng)來提供導電的通道，使得可能産生的電荷流過該濕氣層(céng)耗散靜電荷。另外，薄薄的濕氣層(céng)可以增加物體表面的潤滑性，摩擦生電也将減少。一般來說，濕度越低，産生的電荷越多。但是資料表明，甚至在濕度高時也會産生顯著的靜電電壓，但是，在高濕度環境中，生産人員可能會感覺十分不舒服，零部件可能生鏽，並(bìng)産生可焊性問題。同時，企圖用濕度控制來消除靜電的方法顯然是高耗費的，尤其在幹燥地區更是如此。