淨化車間，也可以稱爲淨化車間或清淨室。它是污染控制的基礎。沒有淨化車間，污染敏感零件不可能批量生産。那麽淨化車間是由哪幾部分組呢？
淨化車間共有五部分組成：
1、隔間(jiān)
淨化車(chē)間隔間分爲三大部分,更衣室,千級區和百級區,更衣室與千級區,千級區和百級區均設風淋室(airshower),淨化車(chē)間與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入淨化車(chē)間時,首先要經過風淋室,對人體所帶的灰塵(chén)吹淋,減少人員帶入淨化車(chē)間的灰塵(chén).傳遞箱則是對物品灰塵(chén)進行吹淋,達到落塵(chén)的效果。
2、風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖
系統採(cǎi)用的是全新風空調(diào)箱+FFU系統：
全新風(fēng)空調(diào)箱結構
FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機和過(guò)濾器
千級區過(guò)濾器採(cǎi)用HEPA,過(guò)濾效率99.997%,百級區過(guò)濾器採(cǎi)用ULPA,過(guò)濾效率99.9995%。
3、水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖(tú)
冰水系統(tǒng)分爲一次側(cè)和二次側(cè).
一次側(cè)冰水水溫7-12度,供給空調(diào)箱和風機盤管,二次側(cè)冰水12-17度供給幹盤管系統.一次側(cè)冰水和二次冰水爲兩個不同的回路,之間由闆式換熱器連接.
闆式換(huàn)熱(rè)器原理
幹盤管:不結露的盤管,因淨化車(chē)間溫度在22度,其露點(diǎn)溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入淨化車(chē)間,所以進幹盤管的冰水溫度在12-14度.
4、控制系統(DDC)溫度:幹(gàn)盤(pán)管系統控制
濕度:空調(diào)箱調(diào)節通過感測(cè)的信号,控制三通閥開度來調(diào)節空調(diào)箱盤管進水量。
正壓:空調箱調節,根據靜壓感測(cè)的信号,自動調節空調箱馬達變(biàn)頻器的頻率,從而調節進入室内的新風量。
5、其他系統(tǒng)
不隻是空調系統,淨化車(chē)間系統中還包括有真空,空壓,氮氣,純(chún)水,廢水,二氧化碳系統,制程排氣系統,
掃一掃，關注微信
當前位置：