臭氧消毒機主要用於食品藥品化妝品等行業的加工車間和類似場所的空氣滅菌和物體表面滅菌。臭氧消毒機按安裝形式可分爲：移動式、壁挂式、吊燈式、落地式等。臭氧消毒機在制藥廠GMP車間和HVAC系統配套使用時，通常分爲内置式和外置式兩種。使用臭氧發生器制取臭氧的機器稱爲臭氧消毒機，這裏臭氧作爲消毒劑使用。
臭氧消毒機的工作原理：
一、高壓放電式臭氧消毒機
高壓放電式臭氧消毒機是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場内或電場周圍的氧分子發生電化學反應，從而制造臭氧。這種臭氧消毒機具有技術成熟、工作穩定、使用壽命長、臭氧産量大(單機可達1Kg/h)等優點，所以是國内外相關行業使用*泛的臭氧消毒機。高壓放電式臭氧消毒機又分爲以下幾種類型：
1)按發生器的高壓電頻率劃分，有工頻(50-60Hz)、中頻(400-1000Hz)和高頻(>1000Hz)三種。工頻發生器由於體積大、功耗高等缺點，目前已基本退出市場。中、高頻發生器具有體積小、功耗低、臭氧産量大等優點，是常用的産品。
2)按使用的氣體原料劃分，有氧氣型和空氣型兩種。氧氣型通常是由氧氣瓶或制氧機供應氧氣。空氣型通常是使用潔淨幹燥的壓縮空氣作爲原料。由於臭氧是靠氧氣來産生的，而空氣中氧氣的含量隻有21%，所以空氣型發生器産生的臭氧濃度相對較低，而瓶裝或制氧機的氧氣純度都在90%以上，所以氧氣型發生器的臭氧濃度較高。
3)按冷卻方式劃分，有水冷型和風冷型。臭氧消毒機工作時會産生大量的熱能，需要冷卻，否則臭氧會因高溫而邊産生邊分解。水冷型發生器冷卻效果好，工作穩定，臭氧無衰減，並能長時間連續工作，但結構複雜，成本稍高。風冷型冷卻效果不夠理想，臭氧衰減明顯。總體性能穩定的高性能臭氧消毒機通常都是水冷式的。風冷一般隻用於臭氧産量較小的中低檔臭氧消毒機。在選用發生器時，應盡量選用水冷型的。
4)按介電材料劃分，常見的有石英管(玻璃的一種)、陶瓷闆、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。使用各類介電材料制造的臭氧消毒機市場上均有銷售，其性能各有不同，玻璃介電體成本低性能穩是人工制造臭氧使用最早的材料之一，但機械強度差。陶瓷和玻璃類似但陶瓷不宜加工特别在大型臭氧機中使用受到限制。搪瓷是一種新型介電材料，介質和電極於一體機械強度高、可精密加工精度較高，在大中型臭氧消毒機中廣泛使用，但制造成本較高。
5)按臭氧消毒機結構劃分，有間隙放電式(DBD)和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在内外電極區間的間隙内産生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用於水處理。開放式發生器的電極是裸露在空氣中的，所産生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常隻用於較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發生器可代替開放式發生器使用。但間隙放電式臭氧消毒機成本遠高於開放式。
二、紫外線式臭氧消毒機
紫外線式臭氧消毒機機是使用特定波長(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而産生臭氧。由於紫外線燈管體積大、臭氧産量低、使用壽命短，所以這種發生器使用範圍較窄，常見於消毒碗櫃上使用。
三、電解式臭氧消毒機
電解式臭氧消毒機通常是通過電解純淨水而産生臭氧。這種發生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡單。但由於有臭氧産量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途範圍受到限制。這種發生器隻是在一些特定的小型設備上或某些特定場所内使用，不具備取代高壓放電式發生器的條件。
但是電解式臭氧消毒機的原料是純水，所以産生的臭氧濃度高，更加純潔，比空氣源的沒有氮氧化合物。而且臭氧水濃度高。
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