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淨化工程所特别設計的房間,不論外在空氣條件如何變化,室内均具有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能。
在一定空間範圍内,将空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,並(bìng)将室内溫度、潔淨度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電(diàn)控制在某一需求範圍内的工程學科。
淨化方式:
亂流式
空氣由空調箱經風管與潔淨室内之空氣過濾器(HEPA) 進入潔淨室,並由潔淨室兩側隔間牆闆或高架地闆回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀态。此型式适用於潔淨室等級1,000-100,000級。
優點:構造簡單、系統建造成本低,潔淨室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可並用無塵工作台,提高潔淨室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子於室内空間飄浮不易排出,易污染制程産品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔淨度,往往須耗時相當長一段時間。
層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室内,並由高架地闆或兩側隔牆闆回風。此型式适用於潔淨室等級需定較高的環境使用,一般其潔淨室等級爲Class 1~100。其型式可分爲二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之回風系統回風,塵埃随風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
優點:構造簡單,運轉後短時間内即可變成穩定。
缺點:建造費用比亂流式高,室内空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花闆*以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔淨度,在制程中或工作人員所産生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
優點:管理容易,運轉開始短時間内即可達穩定狀态,不易爲作業狀态或作業人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花闆之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
複合式:
複合式爲将亂流式及層流式予以複合或並用,可提供局部超潔淨之空氣。
(1)潔淨隧道:以HEPA或ULPA過濾器将制程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需将作業人員之工作區與産品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都採用此種型式。
潔淨隧道另有二項優點:
A.彈性擴充容易;
B.維修設備時可在維修區輕易執行。
(2)潔淨管道:将産(chǎn)品流程經過的自動生産(chǎn)線包圍並(bìng)淨化處理,将潔淨度等級提至100級以上。因産(chǎn)品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔淨度,可節省能源,不需人工的自動化生産(chǎn)線爲zui适宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均适用。
(3)並(bìng)裝局部潔淨室:将潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室内之産(chǎn)品制程區的潔淨度等級提高爲10~1000級以上,以爲生産(chǎn)之用;潔淨工作台、潔淨工作棚、潔淨風櫃即屬此類。
局部潔淨工程
潔淨工作台:等級Class 1~100級。
潔淨工作棚:爲在亂流式之潔淨室空間内以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,採用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成爲一較之潔淨空間,其等級爲10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱並加裝活動輪,可爲彈性運用。
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