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淨化原理 氣流→初效空氣處(chù)理→空調→中效空氣處(chù)理→風機送風→淨化管道→高效送風口→潔淨室→帶走塵(chén)埃(細菌) → 回風夾道→新風、初效空氣處(chù)理。 重複以上過程，即可達到淨化目的。
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潔淨室(Clean Room)，亦稱爲無塵室或清淨室。它是污染控制的基礎。沒有潔淨室，污染敏感零件不可能批量生産(chǎn)。在 FED-STD-2裏面，潔淨室被定義爲具備(bèi)空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到适當的微粒潔淨度級别。
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