無塵淨化車間内該如何防止微粒子污染呢?應遵守下列四項基本原則:
一、不攜入
在潔淨車(chē)間(jiān)内不攜入微粒子的方法有:
1)作業員進入潔淨車(chē)間前,機台、零件攜入前應進行清潔處(chù)理;
2)進入潔淨車間者在更衣室要穿著(zhe)不發塵、不産(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通過風(fēng)淋室時利用高速幹淨空氣除去附在衣服表面的粒子後,才能進入潔淨車(chē)間。
4)機器及材料帶進潔淨車(chē)間前,應盡可能在密封狀态下帶進潔淨車(chē)間前室保養後用超純(chún)水擦拭,經風淋室吹淋後才進入潔淨車(chē)間。
5)潔淨車間中須全程穿戴密閉(bì)式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan於(yú)腰間。
二、不制造
在控制zui大污染源--人在無塵淨化車間内的微粒子發塵量的同時,也應控制第二大污染源—制造機台的發塵量。因物品在移動時,所産生的摩擦及接觸剝離會造成發塵,而物品在移動時也會有微粒子的發生。故爲瞭(le)控制發塵量達到zui小限度應採(cǎi)取以下對策:
1)減少接觸剝(bō)離發塵(chén)的動作形态;
2)採(cǎi)用磨耗發塵(chén)小的材質;
3)採(cǎi)用發塵(chén)小的潤滑油;
4)機(jī)台應用空壓浮上的非接觸(chù)化工作原理。
三、不儲備
若能*實施“不攜入”技術,潔淨室内的潔淨度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機台的掣動,在廣大的潔淨車間内要有*潔淨度是不可能的。因此“不儲備(bèi)”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加瞭(le)重大微粒子污染的危險性。
在zui高等級的潔淨車間中從天花闆到地面,*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒内将室内空氣和*過濾空氣*交換所計算出來的數值。同時,空氣的流向也必須要有的控制才行。特别要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因爲在流通路徑中有障礙(ài)物的話,容易産生空氣空氣渦流而形成空氣的滞留區域,使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在潔淨車間内,而一部分會附著(zhe)在周邊機器設備的表面而引起污染。
控制氣流可防止微粒子累積,但對於(yú)帶(dài)電表面的微粒累積就無法防止。
潔淨車間内的浮遊微粒子濃度,使用高性能的過濾器即可容易達到零水平,實際的生産現場由於(yú)作業者、機器、周邊機械的發塵及基闆運送時所接觸的零件材料的發塵等,在制造品周邊揚起瞭(le)少許的微粒子,因而造成瞭(le)元件清潔面的粒子污染。
四、排除/除去
在無法避免大量微粒子發生的機台中,爲瞭(le)不讓潔淨車間内産生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:由於(yú)導入同量的外氣是必要的,但會伴随大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向潔淨室外排氣,而應採用将除去粒子後的空氣再回流到潔淨車間内之對策。